पीवीडी हाइब्रिड पतली फिल्म जमाव प्रणाली

पीवीडी हाइब्रिड थिन फिल्म डिपोजिशन सिस्टम एक एकल वैक्यूम आर्किटेक्चर के भीतर थर्मल वाष्पीकरण, इलेक्ट्रॉन बीम (ई -बीम) वाष्पीकरण, और आरएफ/डीसी मैग्नेट्रोन स्पटरिंग को एकीकृत करता है। यह प्लेटफ़ॉर्म वैक्यूम को तोड़े बिना, इंटरफेशियल ऑक्सीकरण को रोकते हुए, धातुओं, मिश्र धातुओं और डाइलेक्ट्रिक्स के अनुक्रमिक या सह-{2}} जमाव को सक्षम बनाता है। अनुसंधान एवं विकास संस्थानों और पायलट उत्पादन लाइनों के लिए इंजीनियर किया गया यह सिस्टम स्वचालित बहु-अक्ष रोटेशन के साथ 6 इंच तक सब्सट्रेट को संभालता है।

मॉड्यूलर सॉकेट:विनिमेय स्रोत फ़्लैंज स्पटरिंग कैथोड और थर्मल/ई-बीम बाष्पीकरणकर्ताओं के बीच तेजी से पुनर्संरचना की अनुमति देते हैं।

अलगाव वास्तुकला:वायवीय गेट वाल्व कण उत्पादन को कम करने के लिए प्रक्रिया कक्ष को उच्च - वैक्यूम स्टैक से अलग करते हैं।

-सीटू मॉनिटरिंग में:क्वार्ट्ज क्रिस्टल माइक्रोबैलेंस (क्यूसीएम) सेंसर और ऑप्टिकल उत्सर्जन स्पेक्ट्रोस्कोपी (ओईएस) के लिए समर्पित पोर्ट।

इंटरलॉक्ड सुरक्षा पीएलसी:हार्डवेयर इंटरलॉक उच्च दबाव, शीतलन जल विफलता, या सुरक्षा उल्लंघनों के दौरान स्रोत सक्रियण को रोकते हैं।

रफ़िंग पंप:हाइड्रोकार्बन बैकस्ट्रीमिंग को खत्म करने के लिए ड्राई स्क्रॉल पंप (30 मीटर^3/घंटा)।

उच्च वैक्यूम पंप:क्रायोजेनिक जाल द्वारा समर्थित चुंबकीय रूप से उत्तोलन टर्बोमोलेक्यूलर पंप (एन2 के लिए 1200 एल/एस)।

गेज:संयुक्त पिरानी और कोल्ड कैथोड सेंसर वायुमंडल में 10^-7 Pa तक फैले हुए हैं।

बेक करना:150 डिग्री सेल्सियस तक पहुंचने वाले बाहरी इन्सुलेशन कंबल के साथ कार्ट्रिज हीटर जैकेट।

वाष्पीकरण सामग्री:
धातु:औ, एजी, अल, टीआई, सीआर, पीटी, क्यू, नि

डाइलेक्ट्रिक्स और ऑक्साइड: SiO2, TiO2, Al2O3, ITO

अर्धचालक:सी, जीई

सब्सट्रेट प्रकार:एकल -क्रिस्टल सिलिकॉन वेफर्स, ग्लास, क्वार्ट्ज, पॉलीमाइड फिल्में, और धातु फ़ॉइल।

ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरण:ओएलईडी और सौर कोशिकाओं के लिए पारदर्शी प्रवाहकीय इलेक्ट्रोड (आईटीओ) और बहु-परत परावर्तक।

माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक पैकेजिंग:वेफर स्तर की पैकेजिंग के लिए {{0}बम्प मेटलाइजेशन (यूबीएम) और बीज परतों के तहत।

उन्नत अनुसंधान एवं विकास:क्वांटम डिवाइस संरचनाएं, सुपरकंडक्टर पतली फिल्में और चुंबकीय सुरंग जंक्शन (एमटीजे)।

चैम्बर स्केल:12-इंच सबस्ट्रेट्स या ग्लोवबॉक्स एकीकरण के लिए विस्तारित आयाम।

स्रोत सेटअप:कस्टम क्रूसिबल वॉल्यूम, आरएफ पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति, और आयन {{0}सहायक जमाव (आईएडी) मॉड्यूल।

स्वचालन:टचस्क्रीन रेसिपी प्रबंधन या पूर्ण SECS/GEM फ़ैक्टरी स्वचालन अनुपालन।

रिसाव परीक्षण:प्रति चैम्बर हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर परीक्षण (< 1 x 10^-10 Pa*m^3/s threshold).

आयामी जाँच:स्रोत का सीएमएम सत्यापन-से{{1}सब्सट्रेट दूरी और निकला हुआ किनारा सहनशीलता।

विद्युत परीक्षण:नमस्ते{{0}पॉट परीक्षण, ग्राउंडिंग निरंतरता जांच, और सभी उच्च {{1}वोल्टेज लाइनों पर ईएचएस ऑडिट।

फ़ैक्टरी स्वीकृति परीक्षण (एफएटी):हमारी सुविधा पर आधार दबाव, स्रोत कार्यक्षमता और स्वचालित साइक्लिंग के लिए शिपमेंट से पहले जांच की जाती है।

फ़ील्ड स्थापना:साइट पर यांत्रिक संरेखण, उपयोगिता हुकअप सत्यापन, और साइट स्वीकृति परीक्षण (एसएटी)।

दस्तावेज़ीकरण:पूर्ण डिलीवरी में इलेक्ट्रिकल स्कीमैटिक्स, पी एंड आईडी आरेख, पीएलसी बैकअप और मिल परीक्षण प्रमाणपत्र शामिल हैं।