आर्क वाष्पीकरण पीवीडी उपकरण

औद्योगिक कैथोडिक आर्क वाष्पीकरण पीवीडी प्रणाली निर्वात वातावरण में ठोस कैथोड लक्ष्यों को वाष्पीकृत करने के लिए कम {0}वोल्टेज, उच्च {{1}वर्तमान विद्युत आर्क का उपयोग करती है। यह तंत्र 80% से अधिक धातु आयनीकरण दर प्राप्त करता है, जो थर्मल वाष्पीकरण या मानक मैग्नेट्रोन स्पटरिंग की तुलना में उच्च रासायनिक बंधन शक्ति और सब्सट्रेट आसंजन सुनिश्चित करता है।

निरंतर बहु-शिफ्ट उत्पादन के लिए इंजीनियर किया गया यह सिस्टम एक भारी-भरकम गेज स्टेनलेस स्टील वैक्यूम चैंबर, मॉड्यूलर कैथोड स्टीयरिंग असेंबली और एक पीएलसी आधारित स्वचालित प्रक्रिया नियंत्रण आर्किटेक्चर को एकीकृत करता है।

उच्च आयनीकरण क्षमता:प्रत्यक्ष कैथोड वाष्पीकरण मध्यम तापमान पर घने, दोष नियंत्रित पतली {{1} फिल्म वृद्धि के लिए पूरी तरह से आयनित धात्विक प्लाज्मा का उत्पादन करता है।

चुंबकीय फ़िल्टर्ड आर्क विकल्प:इंटीग्रेटेड इलेक्ट्रोमैग्नेटिक स्टीयरिंग कॉइल्स सटीक टूलींग के लिए चिकनी कोटिंग फिनिश प्रदान करने के लिए मैक्रोपार्टिकल (ड्रॉपलेट) इजेक्शन को कम करते हैं।

बहु-परत/ग्रेडियंट जमाव:सिंक्रोनस मल्टी{0}}कैथोड ऑपरेशन वैक्यूम को तोड़े बिना श्रेणीबद्ध संक्रमण परतों (उदाहरण के लिए, Ti/TiN/TiAlN) के संश्लेषण को सक्षम बनाता है।

बंद-लूप प्रक्रिया नियंत्रण:लक्ष्य आंशिक दबाव बनाए रखने के लिए वास्तविक {{0}टाइम फीडबैक लूप उच्च {{1}सटीक द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रकों (एमएफसी) के माध्यम से प्रतिक्रियाशील गैस प्रवाह (नाइट्रोजन, एसिटिलीन, ऑक्सीजन) को नियंत्रित करते हैं।

पम्पिंग स्टैक:प्राथमिक रफिंग में रूट्स ब्लोअर द्वारा समर्थित दोहरे -स्टेज रोटरी वेन पंप का उपयोग किया जाता है। उच्च-वैक्यूम प्राप्ति उच्च-थ्रूपुट प्रसार पंप या टर्बोमोलेक्यूलर पंप पर निर्भर करती है।

वाल्व और पाइपिंग:वायवीय कोण वाल्व और इलेक्ट्रोन्यूमेटिक गेट वाल्व चैम्बर जोन को स्वचालित रूप से अलग करते हैं। मैनिफोल्ड्स में सिल्वर {{1}प्लेटेड कॉपर सील्स या विटॉन ओ {{2}रिंग्स के साथ आईएसओ/केएफ और सीएफ फ्लैंज्ड स्टेनलेस स्टील टयूबिंग का उपयोग किया जाता है।

रिसाव का पता लगाना:एकीकृत हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर परीक्षण पोर्ट 10^-10 Pa*m^3/s तक डायग्नोस्टिक्स सक्षम करते हैं।

संगत कैथोड सामग्री
शुद्ध धातुएँ:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, TiAl मिश्र धातु (जैसे, 50/50 या 33/67 परमाणु अनुपात)।

यौगिक लक्ष्य:टीआईसी, सीआरसी, डब्ल्यूसी।

सब्सट्रेट अनुकूलता
टूल स्टील्स:उच्च गति वाले स्टील (M2, H13) और सीमेंटेड कार्बाइड (WC{3}}Co आवेषण)।

संरचनात्मक मिश्र:स्टेनलेस स्टील, टाइटेनियम मिश्र धातु (TC4), और निकल- आधारित सुपर मिश्र धातु।

इंजीनियरिंग सिरेमिक:प्रवाहकीय पूर्व उपचार के साथ सिलिकॉन नाइट्राइड और एल्यूमिना।

काटने और बनाने के उपकरण:TiN, TiAlN, and AlTiN coatings on carbide drills and milling cutters. Achieves surface hardness >= 3000 एचवी और उपकरण घिसाव जीवन को 200% - 400% तक बढ़ाता है।

ऑटोमोटिव घटक:पिस्टन के छल्ले, टेपेट और ईंधन इंजेक्टर सुइयों पर एंटी-वियर कोटिंग। स्टील के विरुद्ध घर्षण के गुणांक को कम करके 0.15 - 0.25 कर देता है।

चिकित्सीय प्रत्यारोपण: Biocompatible TiN and ZrN layers applied to orthopedic joints and dental abutments, verified via scratch adhesion testing (Critical Load Lc >= 70 N).

सांचे और डाईज़:चिपकने वाले घिसाव को खत्म करने और वर्कपीस रिलीज को आसान बनाने के लिए प्लास्टिक इंजेक्शन और स्टैम्पिंग मोल्ड पर सीआरएन या डीएलसी कोटिंग।

चैम्बर ज्यामिति:लंबवत पिट-प्रकार की लोडिंग या क्षैतिज फ्रंट{{1}लोडिंग कॉन्फ़िगरेशन।

स्रोत लेआउट:3डी वर्कपीस ज्यामिति (उदाहरण के लिए, लंबी एक्सट्रूज़न डाई या टरबाइन ब्लेड) के लिए अनुकूलित कस्टम कैथोड पोजिशनिंग।

पूर्वाग्रह जनरेटर उन्नयन:उच्च - शक्ति आवेग मैग्नेट्रोन स्पटरिंग (HIPIMS) हाइब्रिड मॉड्यूल का एकीकरण।

स्वचालन एकीकरण:क्लीनरूम वातावरण के लिए रोबोटिक लोडिंग इंटरफेस और स्वचालित फिक्स्चर ट्रांसफर रेल।

फ़ैक्टरी स्वीकृति परीक्षण (FAT) से पहले, सिस्टम को निम्न से गुजरना पड़ता है:

वैक्यूम रिसाव परीक्षण:सभी वेल्ड और सील पर हीलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर सत्यापन।

विद्युत सुरक्षा सत्यापन:सीई/यूएल मानकों के अनुरूप इन्सुलेशन प्रतिरोध, जमीन की निरंतरता और इंटरलॉक लॉजिक जांच।

कार्यात्मक जलन-में:रोटेशन ड्राइव, फ्लो स्विच और पीएलसी संचार का 72-घंटे लगातार ड्राई-रन परीक्षण।

कोटिंग टेस्ट रन:नमूना जमाव को बॉल{{0}क्रेटर फिल्म मोटाई माप और रॉकवेल इंडेंटेशन स्क्रैच परीक्षण के माध्यम से सत्यापित किया गया।

कार्यस्थल पर काम की तैयारी:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow (>15 मीटर^3/घंटा, 20 - 25 डिग्री सेल्सियस), संपीड़ित हवा, वेंटिलेशन, और विद्युत बूंदें (380V/480V, 3-चरण, 50/60 हर्ट्ज)।

कमीशनिंग:वरिष्ठ प्रक्रिया इंजीनियरों द्वारा साइट पर इंस्टालेशन, वैक्यूम कैलिब्रेशन और रेसिपी अनुकूलन।

ऑपरेटर प्रशिक्षण:नियमित रखरखाव, लक्ष्य प्रतिस्थापन और SCADA संचालन को कवर करने वाले निर्देश पर हाथ।

बिक्री के बाद समर्थन:सुरक्षित औद्योगिक वीपीएन के माध्यम से दूरस्थ निदान पहुंच; 24 घंटे के भीतर तकनीकी प्रतिक्रिया की गारंटी।