मल्टी-आर्क आयन थिन फिल्म सिस्टम

औद्योगिक मल्टी{0}आर्क आयन थिन फिल्म सिस्टम धातु और मिश्र धातु सब्सट्रेट्स पर घने, उच्च {{1}आसंजन सिरेमिक और धातु कोटिंग्स जमा करने के लिए कैथोडिक आर्क वाष्पीकरण का उपयोग करता है। निर्वात वातावरण में ठोस कैथोड सामग्री को उच्च {3} वर्तमान, कम {{4} वोल्टेज विद्युत आर्क के माध्यम से वाष्पीकृत करके, सिस्टम स्टोइकोमेट्रिक यौगिक फिल्में बनाने के लिए प्रतिक्रियाशील गैसों (जैसे नाइट्रोजन, एसिटिलीन, या ऑक्सीजन) के साथ बातचीत करते हुए धातु वाष्प को आयनित करता है।

निरंतर उत्पादन वातावरण के लिए इंजीनियर किया गया, यह प्लेटफ़ॉर्म सटीक कटिंग टूल्स, ऑटोमोटिव घटकों और घिसाव प्रतिरोधी औद्योगिक हार्डवेयर के बैच प्रसंस्करण के लिए समर्पित टूलींग फिक्स्चर को समायोजित करता है।

चुंबकीय-स्टीयरिंग आर्क कैथोड:बंद {{0}लूप चुंबकीय क्षेत्र लक्ष्य सतह पर कैथोडिक आर्क स्पॉट प्रक्षेपवक्र का मार्गदर्शन करते हैं, लक्ष्य उपयोग दर को 60% से अधिक तक बढ़ाते हैं और मैक्रो{2}बूंद उत्पादन को कम करते हैं।

तीव्र चाप दमन पूर्वाग्रह:उच्च {{0}आवृत्ति स्पंदित पूर्वाग्रह आपूर्ति में प्रतिक्रियाशील जमाव के दौरान सब्सट्रेट सतहों को नुकसान पहुंचाने से स्थानीयकृत सूक्ष्म आर्क्स को रोकने के लिए तेज़ आर्क {{1} शमन सर्किट शामिल होते हैं।

दोहरी-मोड जमाव वास्तुकला:सिस्टम आर्किटेक्चर हाइब्रिड परत जमाव (जैसे, ग्रेडिएंट लेयर्स) के लिए मानक आर्क स्रोतों के साथ-साथ असंतुलित मैग्नेट्रोन स्पटरिंग (यूएमएस) कैथोड के तेज एकीकरण का समर्थन करता है।

स्वचालित प्रक्रिया नियंत्रण:पीएलसी को औद्योगिक पीसी रनिंग रेसिपी आधारित नियंत्रण सॉफ्टवेयर, रिकॉर्डिंग चैम्बर दबाव, गैस द्रव्यमान प्रवाह दर (एमएफसी), सब्सट्रेट पूर्वाग्रह और बैच ट्रैसेबिलिटी के लिए वास्तविक समय में आर्क करंट के साथ जोड़ा गया है।

वायवीय वैक्यूम वाल्विंग:वायवीय रूप से सक्रिय गेट वाल्व और कोण वाल्व चैम्बर अनुभागों को अलग करते हैं, रखरखाव डाउनटाइम और पंप डाउन चक्र को कम करते हैं।

सिस्टम निकासी 15 मिनट के भीतर परिचालन दबाव तक पहुंचने के लिए डिज़ाइन किए गए बहु-स्तरीय कॉन्फ़िगरेशन का उपयोग करती है:

रफिंग स्टेज:दोहरे -स्टेज रोटरी वेन मैकेनिकल पंप प्राथमिक वायुमंडलीय वायु को 10 Pa तक हटा देते हैं।

मध्यवर्ती चरण:रूट्स ब्लोअर क्रॉसओवर दबाव सीमा को पाटने के लिए वॉल्यूमेट्रिक विस्थापन को तेज करते हैं।

उच्च वैक्यूम स्टेज:तेल प्रसार पंप या क्रायोजेनिक/आणविक पंप गैस बैकफ़िलिंग और आयन सफाई से पहले 5.0 x 10^-3 Pa का अंतिम आधार दबाव प्राप्त करते हैं।

गैस वितरण उपप्रणाली:मल्टी{{0}चैनल मास फ्लो कंट्रोलर (एमएफसी) मीटर ऊंचा {{1}शुद्धता प्रक्रिया गैसें (Ar, N2, C2H2, O2) +/- 1% फुल स्केल की प्रवाह स्थिरता सहनशीलता के साथ।

कैथोड लक्ष्य
धात्विक लक्ष्य:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 परमाणु अनुपात), WC, स्टेनलेस स्टील।

शुद्धता मानक:>= 99.99% वैक्यूम पिघल गया और लुढ़क गया।

सब्सट्रेट सामग्री
टूल स्टील्स:H13, SKD11, M2, D2 (पूर्व-उपचारित और कोटिंग जमाव तापमान से नीचे टेम्पर्ड)।

कार्बाइड:सीमेंटेड टंगस्टन कार्बाइड (WC-Co).

इंजीनियरिंग मिश्र:टाइटेनियम मिश्र धातु (TC4), स्टेनलेस स्टील (304/316), और तांबा मिश्र धातु (स्थिरता पर निर्भर)।

परिशुद्धता काटने के उपकरण:सीमेंटेड टंगस्टन कार्बाइड एंड मिल्स और हॉब्स पर TiAlN और AlCrN कोटिंग्स के जमाव से 3300 - 3500 HV की सतह कठोरता प्राप्त होती है। फ़ील्ड सत्यापन डेटा उच्च गति वाली ड्राई मशीनिंग स्थितियों के तहत टूल घिसाव जीवन में 2.5 गुना विस्तार दिखाता है।

सांचे और डाईज़:थर्मल थकान, चिपकने वाला घिसाव और पित्त को रोकने के लिए H13 और SKD11 प्लास्टिक इंजेक्शन मोल्ड और स्टैम्पिंग डाई की सतह को सख्त करना।

ऑटोमोटिव घटक:सीमा घर्षण गुणांक को 0.1 से नीचे कम करने के लिए पिस्टन रिंग, ईंधन इंजेक्टर पिन और वाल्व लिफ्टर पर कम घर्षण, घिसाव प्रतिरोधी डीएलसी (डायमंड {2 इंच कार्बन) और सीआरएन कोटिंग लागू की जाती है।

कार्यात्मक हार्डवेयर:औद्योगिक स्वच्छता फिटिंग और उच्च अंत यांत्रिक घटकों के लिए सजावटी लेकिन कठोर घिसाव प्रतिरोधी फिनिश (TiCN, ZrN)।

इंजीनियरिंग कॉन्फ़िगरेशन सुविधा बाधाओं और घटक ज्यामिति के अनुकूल है:

चैम्बर ज्यामिति:ऊर्ध्वाधर गड्ढा {{0} प्रकार लोडिंग या क्षैतिज मोर्चा {{1} लोडिंग दरवाजा कॉन्फ़िगरेशन।

जिगिंग फिक्स्चर:जटिल 3डी वर्कपीस ज्यामिति के अनुरूप ग्रहीय, एकल {{0}रोटेशन, या अनुकूलित उपग्रह फिक्स्चर।

पम्पिंग स्टैक चयन:क्लीनरूम मानकों और पंप डाउन टाइम लक्ष्यों के आधार पर तेल प्रसार, टर्बोमोलेक्यूलर, या क्रायोपंप पैकेज के लिए कॉन्फ़िगरेशन विकल्प।

गैस एवं विद्युत एकीकरण:क्षेत्रीय ग्रिड मानकों (जैसे, 480V/60Hz, 415V/50Hz) के लिए कस्टम विद्युत ट्रांसफार्मर और क्लाइंट साइड सेंट्रलाइज्ड एग्जॉस्ट स्क्रबिंग सिस्टम के साथ एकीकरण।

प्रत्येक निक्षेपण प्रणाली प्रेषण से पहले सख्त गुणवत्ता सत्यापन से गुजरती है:

हीलियम रिसाव का पता लगाना:मास स्पेक्ट्रोमीटर हीलियम रिसाव परीक्षण सभी वैक्यूम कक्षों और वेल्डिंग सीम (रिसाव दर) पर किया गया<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

विद्युत सुरक्षा सत्यापन:इन्सुलेशन प्रतिरोध, ग्राउंडिंग निरंतरता, और उच्च वोल्टेज ढांकता हुआ सीई/आईईसी विद्युत मानकों का अनुपालन करने वाले परीक्षणों का सामना करता है।

कार्यात्मक ड्राई रन:यांत्रिक रोटेशन तंत्र, वायवीय वाल्व और ठंडा पानी इंटरलॉक सेंसर की 72 घंटे की निरंतर ड्राई साइक्लिंग।

प्रक्रिया स्वीकृति परीक्षण:फिल्म की मोटाई एकरूपता, कठोरता और आसंजन (स्क्रैच परीक्षण / रॉकवेल इंडेंटेशन) को सत्यापित करने के लिए विनिर्माण सुविधा पर नमूना कोटिंग रन निष्पादित किया गया।

साइट तैयारी दिशानिर्देश:शिपमेंट से 4 सप्ताह पहले फर्श लोडिंग आवश्यकताओं, निकास वाहिनी स्थानों, पानी के कई गुना आयामों और विद्युत ड्रॉप बिंदुओं का विवरण देने वाला व्यापक सुविधा लेआउट दस्तावेज़ीकरण।

कमीशनिंग:ऑन-साइट इंस्टालेशन, वैक्यूम कैलिब्रेशन और इलेक्ट्रिकल टाई-इन को फील्ड सर्विस इंजीनियरों द्वारा क्रियान्वित किया जाता है।

प्रोसेस रेसिपी हैंडओवर:बेसलाइन कोटिंग रेसिपी (TiN, TiAlN) को फ़ैक्टरी स्वीकृति के दौरान या साइट पर कमीशनिंग के दौरान विकसित, परीक्षण और स्थानांतरित किया गया।

स्पेयर पार्ट्स और डायग्नोस्टिक्स:त्वरित समस्या निवारण के लिए रिमोट डायग्नोस्टिक मॉड्यूल को पीएलसी में एकीकृत किया गया है, जो महत्वपूर्ण सील, कैथोड लक्ष्य और परिरक्षण प्लेटों के स्थानीय स्टॉकिंग द्वारा समर्थित है।