वैक्यूम आर्क थिन फिल्म सिस्टम

औद्योगिक वैक्यूम आर्क थिन फिल्म सिस्टम घनी, अत्यधिक सुसंगत धातु, मिश्र धातु और सिरेमिक पतली फिल्मों को जमा करने के लिए कैथोडिक आर्क वाष्पीकरण का उपयोग करता है। एक उच्च {{1}वर्तमान, निम्न{2}वोल्टेज चाप ठोस कैथोड सामग्री को अत्यधिक आयनित प्लाज्मा स्ट्रीम (40% - 80% आयनीकरण दर) में वाष्पीकृत करता है, जिससे असाधारण फिल्म {{5}से {{6}सब्सट्रेट बॉन्डिंग ताकत और उच्च जमाव दर सुनिश्चित होती है।

औद्योगिक उत्पादन और उन्नत सामग्री अनुसंधान के लिए इंजीनियर किया गया, यह प्लेटफ़ॉर्म बहु-कैथोड कॉन्फ़िगरेशन, सटीक प्रतिक्रियाशील गैस प्रबंधन और TiN, TiAlN, CrN और DLC जैसे औद्योगिक कोटिंग्स के लिए स्वचालित प्रक्रिया नियंत्रण को एकीकृत करता है।

उच्च प्लाज्मा आयनीकरण:कैथोडिक आर्क आयनीकरण (40% - 80%) घने फिल्म न्यूक्लिएशन को बढ़ावा देता है, स्तंभकार माइक्रोस्ट्रक्चर दोषों को समाप्त करता है।

उन्नत आसंजन शक्ति:{{0}सीटू हाई-एनर्जी आयन क्लीनिंग में टूल स्टील पर 40 N से अधिक क्रिटिकल स्क्रैच लोड (Lc) प्राप्त होता है (ASTM C1624 सत्यापित)।

टोरॉयडल चुंबकीय निस्पंदन (वैकल्पिक):मैक्रो{0}बूंदों को फंसाने और खत्म करने के लिए प्लाज्मा प्रक्षेप पथ को विक्षेपित करता है, जिससे दोष मुक्त चिकनी नैनो{{2}कोटिंग उत्पन्न होती है।

बंद-लूप रिएक्टिव नियंत्रण:द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) स्टोइकोमेट्रिक यौगिक जमाव के लिए एन2, ओ2, सी2एच2 और एआर को सटीक रूप से नियंत्रित करते हैं।

तीव्र रखरखाव:त्वरित -रिलीज़ कैथोड असेंबली 30 मिनट के भीतर लक्ष्य प्रतिस्थापन की अनुमति देती है।

खुरदरापन और जड़ें चरण:10 Pa तक तेजी से ड्रॉडाउन के लिए रोटरी वेन और मैकेनिकल बूस्टर पंप को डायरेक्ट {{0}ड्राइव करें।

उच्च वैक्यूम स्टेज:तरल नाइट्रोजन शीत जाल या चुंबकीय रूप से उत्तोलन टर्बोमोलेक्यूलर पंप (1600 एल/एस) के साथ तेल प्रसार पंप <5 x 10^-4 पा तक पहुंचता है।

गेज और इंटरलॉक:दोहरी पिरानी और कोल्ड कैथोड आयनीकरण गेज को स्वचालित वायवीय गेट वाल्व और पीएलसी इंटरलॉक के साथ जोड़ा गया है।

Cathode Targets (Purity >= 99.95%):
धातुएँ:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Mo, W, Ag, Au

मिश्र धातु/यौगिक:TiAl, TiSi, CrAl, WC, ग्रेफाइट (C)

सब्सट्रेट सामग्री:
टूल स्टील्स:SKH51, M2, D2, कार्बाइड आवेषण

मिश्र:304/316एल स्टेनलेस स्टील, इनकोनेल, टीआई-6एएल-4वी

चीनी मिट्टी/कांच:एल्यूमिना, क्वार्ट्ज (सतह सक्रियण आवश्यक)

काटने और बनाने के उपकरण:ड्रिल, एंड मिल्स और स्टैम्पिंग डाइज़ पर TiN, TiAlN और AlCrN कोटिंग्स (कठोरता: 2500 - 3200 HV)।

ऑटोमोटिव घटक:पिस्टन रिंग और ईंधन इंजेक्शन पिन पर कम घर्षण, घर्षण प्रतिरोधी कोटिंग।

सजावटी हार्डवेयर:उपभोक्ता हार्डवेयर के लिए कार्यात्मक धातु फ़िनिश (सोना, गुलाबी सोना, गनमेटल काला)।

बायोमेडिकल प्रत्यारोपण:सर्जिकल और दंत चिकित्सा उपकरणों पर बायोकम्पैटिबल हार्ड कोटिंग (आईएसओ 10993 संगत प्रोफाइल)।

चैम्बर स्केल:उच्च आयतन वाले बैचों के लिए बढ़े हुए आयताकार या बेलनाकार कक्ष।

हाइब्रिड कॉन्फ़िगरेशन:असंतुलित मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग (यूबीएमएस) के साथ कैथोडिक आर्क स्रोतों को जोड़ने वाली दोहरी -प्रौद्योगिकी एकीकरण।

पूर्वाग्रह मोड:इंसुलेटिंग या सेमीकंडक्टर सबस्ट्रेट्स के लिए आरएफ पूर्वाग्रह एकीकरण।

डेटा एकीकरण:एमईएस कनेक्टिविटी के लिए ओपीसी यूए/मोडबस टीसीपी प्रोटोकॉल।

ISO 9001 गुणवत्ता प्रबंधन मानकों के तहत निष्पादित:

हीलियम रिसाव का पता लगाना:सभी वेल्ड पर मास स्पेक्ट्रोमीटर परीक्षण (सिस्टम रिसाव दर)।<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s, ISO 3529 compliant).

विद्युत सुरक्षा:इन्सुलेशन प्रतिरोध और ग्राउंडिंग निरंतरता का CE/IEC 60204-1 के अनुसार ऑडिट किया गया।

कार्यात्मक सत्यापन:72 घंटे तक लगातार मैकेनिकल और इलेक्ट्रिकल ड्राई रन।

फ़ैक्टरी स्वीकृति परीक्षण (एफएटी):ग्राहक परीक्षण कूपन पर मोटाई एकरूपता (+/- 5%) और आसंजन मेट्रिक्स की पुष्टि करने वाला परीक्षण बयान।

सुविधा पूर्व जांचें:Complete utility blueprint detailing cooling water (>= 5 मी^3/घंटा), बिजली क्षमता, और निकास वेंटिंग।

-साइट कमीशनिंग पर:फील्ड इंजीनियरों द्वारा यांत्रिक प्लेसमेंट, उपयोगिता हुकअप और वैक्यूम योग्यता का पर्यवेक्षण किया गया।

ऑपरेटर प्रशिक्षण:नियमित संचालन, रखरखाव, लक्ष्य प्रतिस्थापन और पीएलसी प्रोग्रामिंग को कवर करने वाला 5-दिवसीय व्यावहारिक कार्यक्रम।

जीवनचक्र सेवा:सुरक्षित वीपीएन रिमोट डायग्नोस्टिक्स और 48 घंटे का महत्वपूर्ण स्पेयर पार्ट्स डिस्पैच।